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東莞凈化車間裝修的單向流凈化是怎樣的?
東莞凈化車間裝修廠家表示,單層垂直單向流萬級凈化車間單層水平單向流凈化車間是多層垂直單向流凈化車間剖面圖,凈化車間的上部為送風靜壓箱,在回風道內(nèi)混入新風后送入送風靜壓箱經(jīng)FFU送至潔凈生產(chǎn)層;凈化車間_F部為格柵地板和回風靜壓箱,側(cè)面或兩端為回風道。
公用動力管線等可布置在回風靜壓箱層或底層,新風處理機組一般集中設在側(cè)面或輔助生產(chǎn)區(qū)內(nèi)。這種布置方式能適合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的變化或擴大生產(chǎn)的改造,靈活性好。
東莞凈化車間裝修的單向流凈化車間廣泛應用于微電子產(chǎn)品或某些電子器件產(chǎn)品的生產(chǎn)過程。目前超大規(guī)模集成電路產(chǎn)品生產(chǎn)要求提供生產(chǎn)環(huán)境控制粒徑O.l mm、0.05 mm,達到IS01級或更嚴格的級別,為適應此種要求,單向流凈化車間的空間布置已從“單層”發(fā)展到“二層或三層”,并主要是采用垂直單向流凈化車間。
為單層單向流凈化車間的一種形式,東莞凈化車間裝修時,在單向流凈化車間的上部為送風靜壓箱、F部為L風地板和回風道,側(cè)面為回風靜壓箱、各類公用動力管道和少量輔助設備等,回風經(jīng)空氣處理后送至送風靜壓箱。
這類凈化車間的空間布置的靈活性較差,當產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或產(chǎn)l鍺數(shù)量擴大時,進行生產(chǎn)工藝平面布置調(diào)整困難。圖14是單層水平單向流凈化車間布置,潔凈室卜部為技術夾層,布置送)xl管、排風管和各種公用動力管線,集中設置空氣凈化處理裝置。
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